Luftbefeuchtungssysteme in
der Elektronik- und Halbleiterindustrie

Adiabate Hybrid-Luftbefeuchter

Anders als Dampf-Luftbefeuchtungssysteme stellt die Nutzung adiabater Luftbefeuchtungssysteme hohe Anforderungen an die Aufbereitung des Befeuchtungswassers. Sowohl aus technischen als auch aus hygienischen Gründen bedarf es hier grundsätzlich der Aufbereitung des Befeuchtungswassers durch eine Umkehrosmose.

Adiabate Luftbefeuchtungssysteme zeichnen sich durch eine vergleichsweise niedrige elektrische Leistungsaufnahme bei gleichzeitig hohen Befeuchtungskapazitäten aus. Bei Vorhandensein eines entsprechenden Hygienekonzepts steht dem Einsatz adiabater Luftbefeuchhtungssysteme in der Elektronik- und Halbleiterindustrie jedoch nichts im Wege.

Hybrid-Luftbefeuchter vereinen die Vorteile der adiabaten Befeuchtungsmethoden Zerstäubung und Verdunstung in einem System, bei gleichzeitiger Eliminierung aller hygienischen Risiken, die ein singulärer Einsatz der genannten Prinzipien mit sich bringt.

Besonderes Merkmal dieser Systeme ist ein sehr niedriger Bedarf an elektrischer Energie, da die Niederdruckdüsen bis zu einer Feuchteanforderung von ca. 70% der erforderlichen Maximalleistung ausschließlich mit dem vorhandenen Netzdruck der Wasserversorgung arbeiten.

Adiabate Hybrid-Systeme eignen sich daher insbesondere für den Einsatz bei generell hohem Befeuchtungsbedarf oder zur zentralen Bereitstellung einer Grundfeuchte für das RLT-System, welche dann über elektrisch betriebene Dampf-Luftbefeuchter in nachgelagerten Zonen des RLT-Systems auf den individuell erforderlichen Sollwert entsprechend nachbefeuchtet werden.

Nutzung hochaufbereitetem Wassers für die Luftbefeuchtung

Ein Beispiel für die Besonderheiten der Fertigung von elektronischen Bauteilen und Halbleitern ist u.a. der Einsatz hochreinen Wassers. Das in der Elektronik- und Halbleiterindustrie ohnehin vorhandene, mit großem technischem Aufwand aufbereitete hochreine Wasser (UPW) kann, ebenso wie Osmose- oder vollentsalztes (VE) Wasser, durchaus für die Luftbefeuchtung eingesetzt werden. Aufgrund seiner chemisch-physikalischen Eigenschaften wirken jedoch sowohl vollentsalztes Wasser, insbesondere jedoch hochreines Wasser, enorm aggressiv gegenüber vieler Metalle, welche auch in Luftbefeuchtungssystemen verwendet werden.

Entsprechend zur Anwendung vorgesehene Luftbefeuchtungssysteme müssen daher grundsätzlich dafür geeignet sein oder werkseitig technisch angepasst werden.

Der Nutzen, der sich aus dem Einsatz hochaufbereitetem Wassers zur Luftbefeuchtung, sei es vollentsalztes oder hochreines Wasser ergibt, ist beträchtlich und kann wie folgt zusammengefasst werden:

  • Keinerlei Betriebsunterbrechung durch Abschlämmprozesse, dadurch Gewährleistung eines stets     konstanten Feuchtewertes.
  • Maximal präzise Regelgenauigkeit von ±1 % absolute Feuchte erreichbar.
  • Erheblich reduzierter Wartungsaufwand durch Entfall jeglicher Kalkbildung.
  • Reduzierte Stillstandszeiten für Wartung.

Fazit

Im Hinblick auf die besonders strengen Anforderungen bei der Fertigung elektronischer Bauteile und von Halbleitern kann somit zusammenfassend festgehalten werden, dass durchaus Luftbefeuchtungssysteme verfügbar sind, welche den anspruchsvollen Erfordernissen in diesem Technologiesegment entsprechen und somit zu einem optimalen Produktionsprozess beitragen.

Gegebenenfalls sind hierzu spezielle, über den Standard hinausgehende Bauformen erforderlich. Die Nutzung von, bereits für den Produktionsprozess vorhandener Medien wie hochaufbereitetes Wasser oder eine zentrale Dampfversorgung, sollten im Hinblick auf die sich daraus ergebenden technischen und wirtschaftlichen Vorteile für den Betrieb des Luftbefeuchtungssystems frühzeitig im Planungsprozess bedacht werden.

Zur Planung von Luftentfeuchtungssystemen bietet Condair auch einen entsprechenden Leitfaden an, welcher Sie bei der Auswahl der richtigen Lösung unterstützt.

Die entsprechende Broschüre kann über den nachfolgenden Link kostenfrei bezogen werden.

Mit freundlichen Grüßen